[发明专利]基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用有效
| 申请号： | 201910873471.6 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110589875B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 卢红亮;朱立远;袁凯平 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;C01G19/02;C01G9/02;B82Y40/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 王洁平 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明首先采用合成条件简单的硬模板法制备单层氧化锡纳米碗材料，然后采用原子层沉积技术和水热法相结合的工艺制备支化氧化锌纳米线，最终得到了单层氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线多级异质结构。本发明的制备方法具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产，与MEMS工艺兼容等优点。制得的多级复合气敏纳米材料能够对1 ppm级微量硫化氢实现超灵敏、高选择性探测，同时能够对有机挥发性气体进行微量检测，进而为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供坚实的技术支持。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 单层 有序 氧化 纳米 碗支化 氧化锌 结构 材料 制备 工艺 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线结构的气敏纳米材料的制备工艺，其特征在于，具体步骤如下：/n（1）取PS球或PMMA球粉体，用去离子水超声分散，配制成质量分数为1~4 wt%的分散液，再加入无水乙醇将得到的分散液稀释1~2倍；/n（2）配制浓度为0.05~0.20 mol/L的四氯化锡溶液；/n（3）将步骤（1）中制备的无水乙醇稀释后的PS球或PMMA球分散液逐滴滴入步骤（2）中配制得到的四氯化锡溶液，再滴入几滴表面活性剂，得到漂浮于前驱体溶液表面的单层PS球或PMMA球；/n（4）用清洗后的衬底捞取步骤（3）中漂浮于前驱体溶液表面的单层PS球或PMMA球，待室温下或烘箱中完全干燥后，将样品放入马弗炉中煅烧；煅烧结束后，自然冷却至室温，得到单层氧化锡纳米碗材料；/n（5）将步骤（4）中得到的单层氧化锡纳米碗材料放入原子层沉积系统中沉积氧化锌薄膜，为后续纳米线的支化提供籽晶层；/n（6）将步骤（5）中经原子层沉积制备得到的样品，经水热法支化氧化锌纳米线结构，完成后用去离子水冲洗并烘干，得到单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线的多级异质气敏纳米材料。/n
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