[发明专利]一种分子级红外干燥系统及具有其的OLED基板清洗机在审
| 申请号： | 201910874591.8 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110614260A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;窦福存;陈国才;施利君;田丹女 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 32276 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 项丽 |
| 地址： | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种分子级红外干燥系统，OLED基板清洗机包括机体，机体设置于支撑用的机架上，机体内沿着平板输送方向设置有多个传动滚轮，机体的两侧对应设置有进料口和出料口，机体上方为开口，在开口上可开合地设置有盖板，盖板内侧相平行地设置有多根红外加热管，其中，盖板的后端侧面上连接有翻转驱动气缸，翻转驱动气缸固定在机架上，其动力输出端转动连接盖板，红外加热系统还包括控制器和温感监测装置，温感监测装置设置在机体内，温感监测装置与控制器相连，控制器的控制端与翻转驱动气缸连接。本发明能够实现对于烘干机器内部腔体的温度控制，使得温度均匀可控，同时，盖板可实现机械自动化的翻盖动作，能够缩短设备维护时间。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板 翻转驱动气缸 监测装置 控制器 温感 开口 红外干燥系统 红外加热系统 动力输出端 红外加热管 机械自动化 传动滚轮 方向设置 烘干机器 内部腔体 缩短设备 温度均匀 转动连接 翻盖 出料口 端侧面 分子级 进料口 可开合 控制端 清洗机 可控 平行 支撑 维护 | ||
【主权项】：
1.一种分子级红外干燥系统，用于OLED基板清洗机，其特征在于，OLED基板清洗机包括机体，机体设置于支撑用的机架上，机体内沿着平板输送方向设置有多个传动滚轮，所述机体的两侧对应设置有进料口和出料口，其特征在于，所述机体上方为开口，在开口上可开合地设置有盖板，所述盖板内侧相平行地设置有多根红外加热管，其中，所述盖板的后端侧面上连接有翻转驱动气缸，所述翻转驱动气缸固定在机架上，其动力输出端转动连接所述盖板，红外加热系统还包括控制器和温感监测装置，所述温感监测装置设置在所述机体内，所述温感监测装置与控制器相连，所述控制器的控制端与所述翻转驱动气缸连接。/n
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