[发明专利]一种红外探测器及红外气体传感器在审
申请号: | 201910875339.9 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN110687064A | 公开(公告)日: | 2020-01-14 |
发明(设计)人: | 李铁;刘延祥;王翊;周宏;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01N21/3504 | 分类号: | G01N21/3504;G01N21/03 |
代理公司: | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及红外探测领域,特别涉及一种红外探测器及红外气体传感器。红外探测器包括:所述红外探测器包括:n个检测单元和m个补偿单元,其中n≥1,m≥1;每个所述检测单元包括1个探测芯片和1种第一类超材料滤波结构;每个补偿单元包括1个探测芯片和1种第二类超材料结构。本申请实施例所述的红外探测器,把多个超材料滤波结构集成设置在一个红外探测器上,超材料滤波结构替代传统滤光片的功能,一种超材料滤波结构通过一种待测气体对应的红外光,多种气体对应多种超材料滤波结构与多个探测芯片,实现了红外探测器芯片级的集成,提高了传感器的集成度。 | ||
搜索关键词: | 红外探测器 滤波结构 超材料 探测芯片 补偿单元 红外光 红外气体传感器 红外探测器芯片 超材料结构 传统滤光 待测气体 红外探测 集成设置 集成度 传感器 检测 替代 申请 | ||
【主权项】:
1.一种红外探测器,其特征在于,所述红外探测器包括:n个检测单元和m个补偿单元,其中n≥1,m≥1;/n每个所述检测单元包括1个探测芯片(10)和1种第一类超材料滤波结构(20);每个补偿单元包括1个探测芯片(10)和1种第二类超材料结构。/n
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