[发明专利]NMOS晶体管及其形成方法、电荷泵电路有效

专利信息
申请号: 201910876179.X 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN110676323B 公开(公告)日: 2023-04-28
发明(设计)人: 盖春赟;刘威 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L29/10;H01L29/06;H01L21/336;H02M3/07
代理公司: 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 代理人: 董琳;高德志
地址: 430074 湖北省武汉市洪山区东*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 一种NMOS晶体管及其形成方法、电荷泵电路,所述NMOS晶体管,包括:在所述P型衬底中形成N型深阱;在所述N型深阱中形成P型阱区;在所述P型阱区部分表面上形成栅极结构;在所述述栅极结构两侧的P型阱区内形成N型源区和N型漏区;形成环绕所述P型阱区的N型阱区,且所述N型阱区一部分位于P型阱区外侧的N型深阱中,另一部分位于N型深阱外侧的P型衬底中;将所述栅极结构连接控制电压端,将所述N型漏区作为电压输入端,所述电压输入端连接输入电压,将所述N型源区与N型阱区连接在一起作为电压输出端。本发明的NMOS晶体管可以增大电压输出端的输出电压的大小。
搜索关键词: nmos 晶体管 及其 形成 方法 电荷 电路
【主权项】:
1.一种用于电荷泵电路的NMOS晶体管,其特征在于,包括:/nP型衬底;/n位于所述P型衬底中的N型深阱;/n位于所述N型深阱中的P型阱区;/n位于所述P型阱区部分表面上的栅极结构;/n位于所述栅极结构两侧的P型阱区内的N型源区和N型漏区;/n环绕所述P型阱区的N型阱区,且所述N型阱区一部分位于P型阱区外侧的N型深阱中,另一部分位于N型深阱外侧的P型衬底中;/n所述栅极结构连接控制电压端,所述N型漏区作为电压输入端,所述电压输入端连接输入电压,所述N型源区与N型阱区连接在一起作为电压输出端。/n
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