[发明专利]一种掩膜版及其制备方法有效
| 申请号： | 201910876549.X | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112522667B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 徐鹏;嵇凤丽 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜版及其制备方法，涉及显示技术领域。其中，驱动背板母板包括：背板区域、背板区域之间的过渡区域，及包围背板区域和过渡区域的边缘区域；掩膜版包括：与边缘区域对应的第一区域，及与过渡区域对应的第二区域；第二区域具有至少一个第一半刻子区域，第一半刻子区域的厚度小于第一区域的厚度。本发明中，可在掩膜版与驱动背板母板过渡区域对应的第二区域中，设置至少一个第一半刻子区域，由于第一半刻子区域的厚度，小于掩膜版与驱动背板母板边缘区域对应的第一区域的厚度，因此，可减轻掩膜版中间的重量，如此，可减小掩膜版与驱动背板母板贴合时的下垂量，使得二者能够更紧密地贴合，避免了驱动背板出现多种不良问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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