[发明专利]功率半导体器件、其封装结构及其制作方法和封装方法有效

专利信息
申请号: 201910877562.7 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN110610934B 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 杨发森;史波;肖婷;郭依腾;敖利波 申请(专利权)人: 珠海格力电器股份有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L29/06;H01L23/495;H01L23/48;H01L21/60
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 梁文惠
地址: 519070 *** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种功率半导体器件、其封装结构及其制作方法和封装方法。该功率半导体器件包括元胞区和终端区,元胞区包括多个元胞,各元胞包括第一电极和第二电极,第一电极和第二电极位于衬底的相对的两侧,在垂直于衬底的方向上,第一电极远离衬底的一侧表面与第二电极远离衬底的一侧表面的距离为H1,终端区中与衬底距离最大的一点与第二电极远离衬底的一侧表面的距离为H2,H1大于H2。在采用上述功率半导体器件的封装工艺中,由于器件中的元胞区与终端区之间具有高度差,从而在采用键合部实现发射极和集电极连接时,能够保证键合部与终端区之间具有一定的安全距离,避免了键合部与终端区接触而形成短路,提高了器件的可靠性。
搜索关键词: 功率 半导体器件 封装 结构 及其 制作方法 方法
【主权项】:
1.一种功率半导体器件,包括设置于衬底(10)上的元胞区和终端区(30),所述元胞区的部分和所述终端区(30)的部分位于所述衬底(10)中,所述终端区(30)环绕所述元胞区设置,所述功率半导体器件中的元胞区包括多个元胞,各所述元胞包括第一电极(210)和第二电极(220),所述第一电极(210)和所述第二电极(220)位于所述衬底(10)的相对的两侧,其特征在于,在垂直于所述衬底(10)的方向上,所述第一电极(210)远离所述衬底(10)的一侧表面与所述第二电极(220)远离所述衬底(10)的一侧表面的距离为H
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