[发明专利]一种压力/振动同步测量的HTCC复合微传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910878575.6 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110542455B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李晨;薛亚楠;熊继军 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01H11/06;G01L1/14;G01L9/10 |
| 代理公司： | 北京彭丽芳知识产权代理有限公司 11407 | 代理人： | 胡若玲 |
| 地址： | 030051 山西省太原市尖*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压力/振动同步测量的HTCC复合微传感器及其制备方法，该HTCC复合微传感器集压力与振动敏感单元于一体，可实现恶劣环境中压力/振动双参数的非接触无线同步测试，由5层生瓷片制备而成，第一层生瓷片和第二层生瓷片表面分别印刷两个敏感单元的电感线圈；第三层表面分别印刷两个敏感单元对应的电容上极板；第四层生瓷片上开设与敏感单元对应的空腔结构；第五层生瓷片表面分别印刷两个敏感单元对应的电容下极板；电容上极板和电容下极板通过在过孔处填充导电铂浆料与电感线圈的两端相连。本发明的传感器可实现超高温环境下(1000℃～1500℃)压力/振动参数的同步测量，制备工艺简单，可批量化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压力 振动 同步 测量 htcc 复合 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力/振动同步测量的HTCC复合微传感器，其特征在于：所述的HTCC复合微传感器集压力与振动敏感单元于一体，可实现恶劣环境中压力/振动双参数的非接触无线同步测试，由5层生瓷片制备而成，第一层生瓷片和第二层生瓷片表面分别印刷两个敏感单元的电感线圈；第三层表面分别印刷两个敏感单元对应的电容上极板；第四层生瓷片上开设与敏感单元对应的空腔结构；第五层生瓷片表面分别印刷两个敏感单元对应的电容下极板；电容上极板和电容下极板分别通过在过孔处填充导电铂浆料与电感线圈的两端相连；电感线圈、电容上极板、电容下极板的材料均为导电铂浆。/n
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