[发明专利]一种梁膜式PZT薄膜压电阵列打印头及其制造方法在审
| 申请号： | 201910879363.X | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110642219A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 邵金友;杨正杰;王春慧;田洪淼;平鹏祥;严超;王小培 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;B41J2/14;B29C64/20;B29C64/209;B33Y30/00 |
| 代理公司： | 61215 西安智大知识产权代理事务所 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种梁膜式PZT薄膜压电阵列打印头及其制造方法，打印头包括多个压电喷射单元和设于相邻压电喷射单元之间的分隔梁，分隔梁降低了振动膜之间的机械串扰，并且隔绝了电极之间的电串扰，在提高喷射单元阵列密度与喷射频率的同时有效降低了串扰效应；制造方法先在第一基底上刻蚀出分隔梁，在第一基底上设有分隔梁的一面上生成振动膜，在振动膜上依次沉积下电极、PZT薄膜、上电极；依次刻蚀出上电极图形、PZT薄膜图形、下电极图形并去除光刻胶；在第一基底另一面刻蚀出压力腔室并去除光刻胶；在第二基底上刻蚀出液体流道与喷嘴；将第一基底上设有压力腔室的一面与第二基底上设有液体流道的一面对准键合；本发明打印头减少串扰效应的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 基底 分隔梁 刻蚀 打印头 振动膜 串扰 压电喷射 压力腔室 液体流道 光刻胶 下电极 电极 去除 电极图形 对准键合 喷射单元 喷射频率 压电阵列 喷嘴 电串扰 膜式 沉积 制造 | ||
【主权项】：
1.一种梁膜式PZT薄膜压电阵列打印头，其特征在于：包括多个压电喷射单元(1)和设于相邻压电喷射单元(1)之间的分隔梁(2)，每个压电喷射单元(1)由PZT薄膜压电驱动器(3)和喷嘴板组成，每个PZT薄膜压电驱动器(3)包括第一基底(9)和分隔梁(2)之间形成的压力腔室(8)，或两个分隔梁(2)之间形成的压力腔室(8)，压力腔室(8)上部设有振动膜(7)，振动膜(7)上方依次设有下电极(4)、PZT薄膜(5)和上电极(6)；/n喷嘴板包括第二基底(11)，第二基底(11)设有液体流道(10)，液体流道(10)上方和压力腔室(8)对应，液体流道(10)下方设有喷嘴(12)；/n第二基底(11)和第一基底(9)键合，使喷嘴(12)与压力腔室(8)一一对应并相互连通；/n所述的PZT薄膜(5)极化方向垂直于上电极(6)和下电极(4)；/n梁模式结构中分隔梁(2)高度高于PZT薄膜压电驱动器(3)。/n
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