[发明专利]一种利用支撑层的微纳结构成形制造方法在审
| 申请号： | 201910879618.2 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110562911A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 周天丰;朱展辰;王子凡;梁志强;焦黎;解丽静;刘志兵;颜培;王西彬 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 11569 北京高沃律师事务所 | 代理人： | 刘潇 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种利用支撑层的微纳结构成形制造方法，涉及微纳结构成形技术领域，主要包括以下步骤：1)、在工件表面加工出微纳沟槽结构；2)、对微纳沟槽结构进行涂覆支撑层；3)、将两片涂覆支撑层的工件进行键合；4)、键合完成后去除工件的支撑层。本发明首先在工件表面涂覆光刻胶、软质金属膜等支撑层，通过模压成形工艺实现两片玻璃材料工件的键合，然后对支撑层腐蚀去除，即可加工出微孔；可以实现微纳尺度大深径比微孔的加工，加工效率高，制造成本低，具有极高的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑层 键合 涂覆 沟槽结构 微纳结构 去除 微孔 成形技术领域 工件表面加工 模压成形工艺 材料工件 成形制造 大深径比 工件表面 加工效率 两片玻璃 制造成本 光刻胶 金属膜 软质 加工 尺度 腐蚀 应用 | ||
【主权项】：
1.一种利用支撑层的微纳结构成形制造方法，其特征在于：包括以下步骤：/n1)、在工件表面加工出微纳沟槽结构；/n2)、对微纳沟槽结构进行涂覆支撑层；/n3)、将两片涂覆支撑层的工件进行键合；/n4)、键合完成后去除工件的支撑层。/n
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