[发明专利]PM2.5防护设备、PM2.5过滤膜及其制备方法在审
申请号: | 201910880566.0 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN112516804A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 陈南翔;刘红超;李少平 | 申请(专利权)人: | 无锡华润微电子有限公司 |
主分类号: | B01D67/00 | 分类号: | B01D67/00;B01D69/02;B01D46/54 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 杜帅 |
地址: | 214135 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种PM2.5防护设备、PM2.5过滤膜及其制备方法。该PM2.5过滤膜具有若干由光刻和刻蚀方法形成的微孔,该若干微孔的孔径均小于2.5μm,过滤膜的材料选自聚酰亚胺、铝及铜中的一种。上述PM2.5过滤膜具有若干由光刻和刻蚀方法形成的、孔径均小于2.5μm的微孔。形成的微孔的尺寸能够得到精确的控制,并且分布范围窄。故该PM2.5过滤膜孔径尺寸可控、孔径分布范围合适。 | ||
搜索关键词: | pm2 防护 设备 滤膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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