[发明专利]基板运输装置有效
| 申请号： | 201910881331.3 | 申请日： | 2014-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN110581060B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | U.吉尔克里斯特 | 申请（专利权）人： | 博鲁可斯自动化美国有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王丽辉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种基板处理装置，其包括：具有串联连接的臂链路的运输臂，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；至少第一滑轮和第二滑轮，其中，第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及至少一个扭矩传递带，其在第一滑轮和第二滑轮之间纵向地延伸并且被联接至第一滑轮和第二滑轮中的每一个，至少一个扭矩传递带具有针对预定臂链路高度的对应带高度以及可变横向厚度，使得至少一个扭矩传递带包括针对所述对应带高度的具有横向增大的横截面的区段。 | ||
| 搜索关键词： | 运输 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于基板处理装置的基板运输臂的操作方法，所述方法包括：/n提供所述基板处理装置中的运输臂，其中，所述运输臂具有/n串联连接的臂链路，所述臂链路中的至少一个具有预定臂链路高度；以及/n至少第一滑轮和第二滑轮，其中，所述第二滑轮被固定至所述串联连接的臂链路中的臂链路；以及/n通过多带扭矩传递将所述第一滑轮联接至所述第二滑轮，所述多带扭矩传递具有多于一个的独立单向扭矩传递带，所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个在所述第一滑轮和所述第二滑轮之间连续纵向地延伸并且被独立地联接至所述第一滑轮和所述第二滑轮中的每一个，使得通过所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个在所述第一滑轮和所述第二滑轮之间的每个扭矩负载传递在扭矩负载下连续遍及所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的相应一个从所述第一滑轮延伸到所述第二滑轮的整个跨度长度遍及所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的所述相应一个赋予恒定的单向且单轴张力负载，所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个具有针对所述预定臂链路高度的对应带高度以及可变横向厚度，使得所述多于一个的独立单向扭矩传递带中的每一个包含针对所述对应带高度的具有横向增大的横截面的区段。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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