[发明专利]基于X射线能量扫描的两相错配度的测量方法

摘要

本发明公开了一种基于X射线能量扫描的两相错配度的测量方法，方法包括以下步骤：用发射连续谱X射线照射样品表面，X射线面探测器接收来自样品表面的共有n个衍射峰的劳厄衍射图谱，标定劳厄衍射图谱得到其中第i个衍射峰的米勒指数，计算劳厄衍射图谱上各衍射峰对应的X射线能量，以步长ΔE0在能量范围E0‑Et至E0+Et内扫描，测量m个不同的能量Ej，在所有衍射向量长度|kj,j′|中找到所有值在区间[dl,dl+Δd)内的衍射向量长度并求这些衍射向量长度对应的像素点上的强度的平均值Iaver,l，在平面直角坐标系中绘制r个点使用双峰拟合函数拟合各点得到分别来自样品中两相的峰的峰中心d1和d2；计算样品两相的第一相和第二相之间的错配度θ量。

主权项

1.一种基于X射线能量扫描的两相错配度的测量方法，所述方法包括以下步骤：/n第一步骤(S1)中，发射连续谱X射线照射样品表面，X射线面探测器接收来自样品的共有n个衍射峰的劳厄衍射图谱，标定所述劳厄衍射图谱；/n第二步骤(S2)中，根据样品的理论晶格参数，计算所述劳厄衍射图谱上各衍射峰对应的X射线能量，选择其中一个衍射峰对应的X射线能量E