[发明专利]一种基于钙钛矿的柔性阻变存储器件制备方法在审
| 申请号： | 201910885452.5 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110660912A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 唐孝生;林琪琪;胡伟;张孟;叶怀宇;张国旗 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | H01L51/05 | 分类号： | H01L51/05;H01L51/30;H01L51/40 |
| 代理公司： | 11226 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 阎冬;李明 |
| 地址： | 518055 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于钙钛矿的柔性阻变存储器件制备方法，包括1)：二甲基甲酰胺溶液中加入PbX | ||
| 搜索关键词： | 制备 薄膜 阻变存储器件 退火 二甲基甲酰胺溶液 机械稳定性 薄膜材料 低温条件 高低电阻 光学性能 甲醇溶液 阻变特性 电极 钙钛矿 两步法 衬底 旋涂 生长 | ||
【主权项】：
1.一种基于钙钛矿的柔性阻变存储器件制备方法，其特征在于：包括/n1)：二甲基甲酰胺溶液中加入PbX
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