[发明专利]一种LED高速固晶设备及其自动上下料装置在审
申请号: | 201910887147.X | 申请日: | 2019-09-19 |
公开(公告)号: | CN110589492A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
发明(设计)人: | 邱国良;张晓伟;关治敏;何伟洪;戴红葵 | 申请(专利权)人: | 东莞市凯格精密机械有限公司 |
主分类号: | B65G49/07 | 分类号: | B65G49/07;H01L33/48 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 陈丽 |
地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种自动上下料装置,应用于LED高速固晶设备,包括悬挂于LED高速固晶设备立柱上的旋转取放晶环机构和置于LED高速固晶设备平台的送料机构,所述旋转取放晶环机构通过升降运动和旋转运动能够将晶环从所述送料机构的升降组件放置在所述LED高速固晶设备的晶圆工作台上或者能够将过的晶环从所述LED高速固晶设备的晶圆工作台上回收至所述送料机构的回收盒中,所述送料机构用于给所述旋转取放晶环机构提供晶环和回收存储用过的晶环。该自动上下料装置提高了LED高速固晶设备的自动化程度,提高了产能。本发明还公开了一种包括上述自动上下料装置的LED高速固晶设备,其有益效果与自动上下料装置的有益效果相同。 | ||
搜索关键词: | 固晶设备 自动上下料装置 送料机构 取放 晶圆 升降运动 升降组件 回收 回收盒 产能 立柱 存储 自动化 悬挂 应用 | ||
【主权项】:
1.一种自动上下料装置,其特征在于,应用于LED高速固晶设备,包括悬挂于LED高速固晶设备立柱(3)上的旋转取放晶环机构(4)和置于LED高速固晶设备平台(2)的送料机构(5),所述旋转取放晶环机构(4)通过升降运动和旋转运动能够将晶环(1)从所述送料机构(5)的升降组件放置在所述LED高速固晶设备的晶圆工作台上或者能够将过的晶环(1)从所述LED高速固晶设备的晶圆工作台上回收至所述送料机构(5)的回收盒中,所述送料机构(5)用于给所述旋转取放晶环机构(4)提供晶环(1)和回收存储用过的晶环(1)。/n
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