[发明专利]一种主动式恒力触测的扫描传感器及其使用方法有效
| 申请号： | 201910889258.4 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110631505B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 郭俊康;郑维康;刘志刚 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种主动式恒力触测的扫描传感器及其使用方法，利用压电陶瓷高精度、高频率的响应特性，通过合理地驱动压电陶瓷的运动，调节微纳测针的测针针尖触测端在测量中与被测样件表面的触测力小于输出感应器的分辨率，从而消除摩擦力对测量结果造成的偏差。这种情况下的恒力测量，也保证了测量结果存在的摩擦力致误差可以通过数据处理的方式进行消除。本发明实现了对触测力的主动控制，极大降低摩擦力造成的测量偏差，提高了测量精度，结构相对简单，测量系统的复杂性低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 主动 恒力 扫描 传感器 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种主动式恒力触测的扫描传感器，其特征在于：包括非接触传感器(1)、第一固定座(2)、线弹性形变机构(3)、微纳测针(4)和压电陶瓷(6)；所述线弹性形变机构(3)包括中间臂、第一侧臂(33)和第二侧臂(34)，所述第一侧臂(33)的一端连接在所述中间臂的一侧上，且在连接点处将所述中间臂分为长臂(31)和短臂(32)，所述第二侧臂(34)的一端连接在所述中间臂的另一侧上，且所述第一侧臂(33)与所述第二侧臂(34)相对于所述中间臂对称设置；/n所述第一侧臂(33)与所述第二侧臂(34)分别与所述第一固定座(2)的下端面固定连接，且所述中间臂的上端面与所述第一固定座(2)的下端面之间预留有间隙，所述间隙用于给所述长臂(31)和所述短臂(32)提供形变空间；所述微纳测针(4)的一端与所述中间臂的下端面垂直连接，且所述微纳测针(4)的测针针尖(41)的指向与所述长臂(31)的延伸方向一致；所述压电陶瓷(6)位于所述短臂(32)末端的正下方，且所述压电陶瓷(6)发生形变时能够使所述短臂(32)的末端发生沿垂直于所述第一固定座(2)下端面方向的形变位移；所述非接触传感器(1)位于所述长臂(31)末端的正上方，且所述长臂(31)的末端发生沿垂直于所述第一固定座(2)下端面方向的形变位移时，始终处于所述非接触传感器(1)测量范围内。/n
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