[发明专利]一种凝胶注模成型ITO靶材坯体的方法及ITO靶材坯体在审
| 申请号： | 201910889265.4 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110606754A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张力文;孙剑伟;王博华;李信言;宋继萍 | 申请（专利权）人： | 西安航空职业技术学院 |
| 主分类号： | C04B35/634 | 分类号： | C04B35/634;C04B35/626;C04B35/622;C04B35/457;C04B35/01 |
| 代理公司： | 61200 西安通大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李鹏威 |
| 地址： | 710089 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种凝胶注模成型ITO靶材坯体的方法及ITO靶材坯体，包括以下步骤：步骤一、将有机单体、交联剂和蒸馏水混合得到预混液；步骤二、将步骤一中得到的预混液的pH值调节为10；步骤三、将步骤二中得到的预混液与ITO粉末在球磨仪中球磨，并加入分散剂、引发剂和催化剂，混合均匀后制得浆料；步骤四、将步骤三中得到的浆料注入模具中，干燥，得到坯体；其中，有机单体的质量占ITO粉末质量的1％～4％，有机单体的质量与交联剂的质量比为15:1至25:1，浆料的固相含量为80％‑85％，干燥温度为55‑65℃。本发明能解决凝胶注模成型ITO靶材坯体易出现严重开裂的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 坯体 有机单体 预混液 浆料 凝胶注模成型 交联剂 球磨 蒸馏水混合 分散剂 引发剂 质量比 催化剂 模具 | ||
【主权项】：
1.一种凝胶注模成型ITO靶材坯体的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤一、将有机单体、交联剂和蒸馏水混合得到预混液；/n步骤二、将步骤一中得到的预混液的pH值调节为10；/n步骤三、将步骤二中得到的预混液与ITO粉末在球磨仪中球磨，并加入分散剂、引发剂和催化剂，混合均匀后制得浆料；/n步骤四、将步骤三中得到的浆料注入模具中，干燥，得到坯体；/n其中，有机单体的质量占ITO粉末质量的1％～4％，有机单体的质量与交联剂的质量比为15:1至25:1，浆料的固相含量为80％-85％，干燥温度为55-65℃。/n
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