[发明专利]基于单色X射线衍射的单晶应力检测方法在审
| 申请号： | 201910891247.X | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110609047A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈凯;沈昊;寇嘉伟;朱文欣 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20;G01L1/25;G01L5/00 |
| 代理公司： | 11429 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人： | 覃婧婵 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于单色X射线衍射的单晶应力检测方法，方法包括以下步骤：获得待检测单晶的晶向，基于所述晶向建立晶体坐标系，基于承载单晶的样品台建立样品坐标系，获取所述晶体坐标系相对于样品坐标系的旋转矩阵；布置单色X射线的入射方向和用于获得衍射信号的探测器与单晶样品相对位置使得单晶样品的晶面满足衍射条件，计算各衍射峰在空间上的位置，根据探测器可探测范围选取衍射峰，通过转动和倾转单晶样品，探测器采集第二步骤中所选取的衍射峰；通过旋转和倾转样品重构衍射峰以获得所述衍射峰实际2θ值；重复第三步骤至第四步骤，获取单晶样品其他晶面的衍射峰实际2θ值，基于所述衍射峰实际2θ值获得所述单晶的应力张量。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射峰 单晶样品 单晶 探测器 晶体坐标系 样品坐标系 晶向 倾转 单色X射线衍射 单色X射线 范围选取 入射方向 旋转矩阵 衍射条件 衍射信号 应力检测 可探测 样品台 晶面 重构 转动 采集 承载 检测 重复 | ||
【主权项】：
1.一种基于单色X射线衍射的单晶应力检测方法，所述方法包括以下步骤：/n第一步骤(S1)中，获得待检测单晶的晶向，基于所述晶向建立晶体坐标系，基于承载单晶的样品台建立样品坐标系，获取所述晶体坐标系相对于样品坐标系的旋转矩阵；/n第二步骤(S2)中，布置单色X射线的入射方向和用于获得衍射信号的探测器与单晶样品相对位置使得单晶样品的晶面满足衍射条件，计算各衍射峰在空间上的位置，根据探测器可探测范围选取衍射峰；/n第三步骤(S3)中，将探测器旋转到计算出的衍射峰2θ位置附近，通过转动和倾转单晶样品，探测器采集第二步骤(S2)中所选取的衍射峰；/n第四步骤(S4)中，以一定步长旋转以及倾转样品，对衍射峰进行重构，以获得所述衍射峰实际2θ值；/n第五步骤(S5)中，重复第三步骤(S3)至第四步骤(S4)，获取单晶样品其他晶面的衍射峰实际2θ值；/n第六步骤(S6)中，基于所述衍射峰实际2θ值获得所述单晶的应力张量。/n
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