[发明专利]一种化学气相沉积行星托盘装置及进气方法在审
| 申请号： | 201910892148.3 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110512192A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 梁土钦;孔令沂;孙国胜;邓菁;张新河;李锡光 | 申请（专利权）人： | 深圳第三代半导体研究院 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/455;C30B25/12 |
| 代理公司： | 44332 广东莞信律师事务所 | 代理人： | 蔡邦华<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学气相沉积行星托盘装置，包括一基盘、一传动盘和多个与传动盘啮合的行星盘，传动盘和行星盘间隙设置于基盘的腔体内，腔体底部设有一开口，开口内设有一传动连接组件，传动连接组件一端与传动盘传动连接，传动连接组件另一端与基盘传动连接，基盘或所述传动连接组件由一驱动机构带动旋转，进而带动传动盘转动，传动连接组件底部设有一供辅助气体进入的支撑进气组件，支撑进气组件通过传动连接组件上的多个进气孔与开口连通。通过机械传动带动行星盘自转，保证各个行星盘的转速一致，本发明还公开了行星托盘装置的进气方法，通过注入辅助气体使行星盘悬浮，辅助行星盘转动，消除机械振动，提高行星盘转动稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 行星盘 传动连接组件 传动盘 基盘 转动 开口 传动连接 辅助气体 进气组件 托盘装置 行星 化学气相沉积 啮合 带动旋转 机械传动 机械振动 间隙设置 驱动机构 进气孔 支撑 自转 进气 腔体 连通 悬浮 体内 保证 | ||
【主权项】：
1.一种化学气相沉积行星托盘装置，包括一基盘、一传动盘和多个与所述传动盘啮合的行星盘，所述传动盘和行星盘间隙设置于所述基盘的腔体内，其特征在于，所述腔体底部设有一开口，所述开口内设有一传动连接组件，所述传动连接组件一端与所述传动盘传动连接，所述传动连接组件另一端与所述基盘传动连接，所述基盘或所述传动连接组件由一驱动机构带动旋转，进而带动所述传动盘转动，所述传动连接组件底部设有一供辅助气体进入的支撑进气组件，所述支撑进气组件通过所述传动连接组件上的多个进气孔与所述开口连通。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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