[发明专利]检测系统及检测方法在审
| 申请号： | 201910892194.3 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112540082A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;崔高增;黄有为;王天民;马凯;庞芝亮 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/94 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 杨胜军 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了检测系统及方法，所述检测系统包括：检测光生成单元、信号探测单元以及处理单元；检测光生成单元被配置向待测物发射第二检测光，其中，所述待测物包括相对设置的第一表面和第二表面，所述第二检测光自所述第一表面透过所述待测物并经所述第二表面散射形成第二信号光；信号探测单元被配置为成像式收集所述第二信号光，并根据所述第二信号光生成第二检测信息；处理单元被配置为基于所述第二检测信息来获取所述第二表面的缺陷信息。与现有技术相比，本发明在检测透明膜状结构的表面的过程中具有检测速度快、检测结果精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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