[发明专利]酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备、工作方法、控制系统、控制方法在审
| 申请号： | 201910892863.7 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110496502A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 罗欢 | 申请（专利权）人： | 上海八菱环保科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/18 | 分类号： | B01D53/18;B01D53/14;B01D53/78;B01D53/68;C23F1/46 |
| 代理公司： | 11638 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 李海燕<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 201806 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备、方法、控制系统、控制方法，设计要点包括：溶解吸收缸(1)、氯化亚铁吸收装置(2)、液碱洗涤塔(3)、氯气管道(6)、第一射流器(7)、第一气体管道(9)、第二气体管道(10)、氯化亚铁再生装置(4)、真空挥发装置(5)、第二射流器(14)。本发明旨在提供一种酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备、方法、控制系统、控制方法，能够有效地处理氯气。 | ||
| 搜索关键词： | 氯气处理设备 酸性蚀刻液 回收系统 控制系统 氯化亚铁 气体管道 射流器 氯气 挥发装置 氯气管道 吸收装置 再生装置 洗涤塔 有效地 液碱 溶解 吸收 | ||
【主权项】：
1.酸性蚀刻液回收系统的氯气处理设备，其特征在于，包括：溶解吸收缸(1)、氯化亚铁吸收装置(2)、液碱洗涤塔(3)、氯气管道(6)、第一射流器(7)、第一气体管道(9)、第二气体管道(10)；/n其中，所述溶解吸收缸(1)用于存放酸性蚀刻液，第一射流器(7)插入到溶解吸收缸(1)的内部，所述氯气管道(6)连接第一射流器的注气口；第一射流器(7)的注液口设置有液体管道，液体管道均设置有泵、且均与溶解吸收缸(1)底部的出液口连接；/n所述溶解吸收缸(1)与氯化亚铁吸收装置(2)通过第一气体管道(9)连接；/n其中，氯化亚铁吸收装置(2)包括：下部的回收槽(2-1)、以及上部的喷淋吸收槽(2-2)；所述上部的喷淋溶解槽(2-2)为至少1层；喷淋溶解槽(2-2)包括：喷淋吸收槽顶部的喷头(2-2-1)、喷淋吸收槽下部的散体填充物(2-2-2)；在氯化亚铁吸收装置的最顶层的喷淋溶解槽的顶部设置有出气口，其与第二气体管道(10)连接；氯化亚铁吸收装置(2)的内部各层槽体之间空气连通；/n第二气体管道将氯化亚铁吸收装置(2)与液碱洗涤塔(3)连接；/n其中，液碱洗涤塔(3)包括：下部的回收槽(3-1)、以及上部的喷淋吸收槽(3-2)；所述上部的喷淋溶解槽(3-2)为至少1层；喷淋溶解槽(3-2)包括：喷淋吸收槽顶部的喷头、喷淋吸收槽下部的散体填充物；在最顶层的喷淋溶解槽的顶部设置有出气口，用于排放废气。/n
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