[发明专利]高密封性高度可调电极

摘要

本发明公开了高密封性高度可调电极，主要涉及气相沉积技术领域。包括电极总成，所述电极总成包括电极盖板、绝缘体、锁紧环、电极架、电极冷却接口和电极体；还包括位移驱动装置总成；所述位移驱动装置总成包括外驱动件、内表面设置内螺纹的内从动轮、外护壳、与外护壳固定的支撑环、内部中空且外侧顶端设置外螺纹的传动管；所述外驱动件驱动内从动轮的转动，所述内从动轮的内螺纹与传动管顶端的外螺纹传动连接。本发明的有益效果在于：摒弃了现有的波纹管技术，采用新的技术实现电极的高度可调，而且解决了采用波纹管技术所带来的一系列不足，无需在设备上开固定孔、密封孔就可接入其他设备；而且增加了辐射泄露防护技术。

主权项

1.高密封性高度可调电极，包括电极总成，所述电极总成包括电极盖板(1)、绝缘体(2)、锁紧环(3)、电极架(4)、电极冷却接口(5)和电极体(6)；所述电极盖板(1)底部边缘通过螺栓与绝缘体(2)固定，所述锁紧环(3)固定在绝缘体(2)内侧台面，所述电极架(4)通过螺栓固定到锁紧环(3)上，所述电极体(6)固定在电极架(4)上，所述电极冷却接口(5)设置在电极架(4)内侧；/n其特征在于：/n还包括位移驱动装置总成；所述位移驱动装置总成包括外驱动件(7)、内表面设置内螺纹的内从动轮(8)、外护壳(9)、与外护壳(9)固定的支撑环(10)、内部中空且外侧顶端设置外螺纹的传动管(11)；所述外驱动件(7)驱动内从动轮(8)的转动，所述内从动轮(8)的内螺纹与传动管(11)顶端的外螺纹传动连接，所述外护壳(9)底侧与支撑环(10)之间设有限转销(12)，所述传动管(11)上远离外螺纹的下段侧面设有竖槽(13)，所述限转销(12)配合插入竖槽(13)内；/n所述传动管(11)底部设有管下法兰(14)，所述传动管(11)通过管下法兰(14)与电极盖板(1)顶部固定。/n