[发明专利]一种印字偏移量检验工具有效
申请号: | 201910894268.7 | 申请日: | 2019-11-05 |
公开(公告)号: | CN110634761B | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 乔红伟 | 申请(专利权)人: | 紫光宏茂微电子(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/67 |
代理公司: | 上海市嘉华律师事务所 31285 | 代理人: | 黄琮 |
地址: | 201700 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明实施例公开了一种印字偏移量检验工具。本发明的印字偏移量检验工具,包括:箱体、垫板、检验面板、托板、定位螺钉和多个放大镜片;所述箱体的顶板设有多个长条形观察孔;所述垫板位于所述箱体内的底板上;所述定位螺钉用于将所述垫板安设在所述箱体的底板上;所述检验面板由透明材料制成,所述检验面板横设在所述箱体内;所述检验面板上设有线宽等于印字偏移量阈值的检验线条;所述托板用于将待检测产品抬升至所述进孔和所述出孔高度;多个所述放大镜片可滑动地卡设在所述长条形观察孔内。本发明的印字偏移量检验工具,结构简单、调试方便、操作步骤少、观测结果明显,有利于提高印字偏移量的检验效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 偏移 检验 工具 | ||
【主权项】:
1.一种印字偏移量检验工具,其特征在于,包括:箱体、垫板、检验面板、托板、定位螺钉和多个放大镜片;/n所述箱体的底板上设有第一安装孔和第二安装孔,所述箱体的顶板设有多个长条形观察孔,所述箱体的左右两侧面分别设有进孔和出孔;/n所述垫板位于所述箱体内的底板上,所述垫板的上侧面低于所述进孔和出孔;所述垫板上设有第三安装孔和第四安装孔,所述定位螺钉穿设于所述第一安装孔与所述第三安装孔内;/n所述检验面板由透明材料制成,所述检验面板横设在所述箱体内,且所述检验面板位于所述进孔和所述出孔的上方;所述检验面板、所述垫板的上侧面和所述箱体的四侧面形成放置待检验产品的检验腔;/n所述检验面板上设有线宽等于印字偏移量阈值的检验线条,其中,所述印字偏移量阈值为合格产品的印字偏移量的最大值;/n所述托板位于所述第二安装孔和第四安装孔内,所述托板用于将所述待检测产品抬升至所述进孔和所述出孔高度;/n多个所述放大镜片可滑动地卡设在所述长条形观察孔内,所述放大镜片用以对待检验产品进行观察。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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