[发明专利]静电吸盘系统、成膜装置、被吸附体分离方法、成膜方法及电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 201910896704.4 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110938806A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 柏仓一史;石井博 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56;H01L21/683 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供将吸附于静电吸盘的第1被吸附体和第2被吸附体良好地从静电吸盘分离的静电吸盘系统、成膜装置、被吸附体分离方法、成膜方法及电子器件的制造方法。本发明的静电吸盘系统的特征在于，该静电吸盘系统包括：静电吸盘，包括多个电极部；电压施加部，用于对所述静电吸盘的所述电极部施加电压；以及电压控制部，用于控制基于所述电压施加部的电压施加，所述电压控制部对所述电压施加部进行控制，以对吸附有第1被吸附体并隔着所述第1被吸附体吸附有第2被吸附体的所述静电吸盘的所述多个电极部分别独立地施加用于使所述第2被吸附体从所述第1被吸附体分离的第1分离电压。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 吸盘 系统 装置 吸附 分离 方法 电子器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910896704.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
