[发明专利]基于轴向磁场耦合机械振动制备太阳能级多晶硅的方法在审
| 申请号： | 201910896752.3 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110512284A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 陈小会;张发云;饶森林 | 申请（专利权）人： | 新余学院 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B30/04;C30B30/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 36134 南昌朗科知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 郭毅力<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 338004 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种基于轴向磁场耦合机械振动制备太阳能级多晶硅的方法，将冶金硅表面酸洗、蒸馏水清洗，干燥，装进高纯石英坩埚内，并放入定向凝固炉中，抽真空；将炉温升至1200～1350℃，保温；向炉腔充入惰性气体；将炉温升至1500～1650℃，保温；得到硅熔体；将硅熔体温度降至1420～1570℃；引入轴向磁场和机械振动到硅熔体中；将坩埚以1～20μm/s的速率抽拉出加热区，开始长晶；长晶结束后，关闭励磁系统和停止机械振动，将温度降至1000～1300℃；关闭加热系统，随炉冷却。本发明得到的多晶硅材料组织中硅晶粒粗大且垂直于坩埚底部，缺陷少，杂质含量低；工艺成本低、简单；安全可靠、无污染；操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 硅熔体 坩埚 机械振动 轴向磁场 温度降 炉温 保温 太阳能级多晶硅 定向凝固炉 多晶硅材料 蒸馏水清洗 表面酸洗 惰性气体 高纯石英 工艺成本 加热系统 励磁系统 随炉冷却 耦合机械 抽真空 硅晶粒 加热区 冶金硅 抽拉 放入 炉腔 制备 垂直 引入 | ||
【主权项】：
1.一种基于轴向磁场耦合机械振动制备太阳能级多晶硅的方法，其特征是包括以下步骤：/n（1）将冶金硅表面酸洗、蒸馏水清洗，干燥；/n（2）把经步骤（1）预处理的冶金硅硅料装进高纯石英坩埚内，并放入定向凝固炉中，将炉腔抽真空；/n（3）将定向凝固炉炉腔内温度升高至1200～1350℃，保温100～120min；/n（4）向定向凝固炉炉腔充入0～60000Pa的惰性气体；将温度升高至1500～1650℃，保温30～60 min；得到硅熔体；/n（5）将步骤（4）得到的硅熔体的温度降至1420～1570 ℃；引入轴向磁场和机械振动到硅熔体中，磁场强度0.01～1T，振动功率1.75KW，振动频率0.1～1KHz，振动振幅0.01～1mm；将装有硅熔体的坩埚以1～20μm/s的速率抽拉出加热区，开始长晶；/n（6）长晶结束后，关闭励磁系统和停止机械振动，将温度降至1000～1300℃；关闭加热系统，随炉冷却。/n
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