[发明专利]硅微陀螺敏感信号读出电路在审
| 申请号： | 201910896807.0 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN112539744A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 畅璇;张兴成;孟真;刘谋;钟燕清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01C19/5776 | 分类号： | G01C19/5776 |
| 代理公司： | 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 | 代理人： | 赵永刚 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅微陀螺敏感信号读出电路，包括：差分调制模块，包括单载波调制的电荷放大器；用于读出陀螺电容变化量并将电容变化量转换为电压信号；信号解调模块，输入接口与所述差分调制模块的输出接口连接，用于将所述差分调制模块输出的信号进行解调；放大电路模块，输入接口与所述信号解调模块的输出接口连接，用于将所述信号解调模块输出的信号进行放大；滤波电路模块，输入接口与所述发达电路模块的输出接口连接，用于抑制放大电路模块输出的信号中的噪声。本发明硅微陀螺敏感信号读出电路，输出电压的增益带宽可调、幅值可调，具有较好的抗共模干扰特性、降低了功耗、有效提高了信号检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 陀螺 敏感 信号 读出 电路 | ||
【主权项】：
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