[发明专利]一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件在审
| 申请号： | 201910898222.2 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110749638A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 潘威;陈浩远;张志强;赵振平;张铭;郭子昂 | 申请（专利权）人： | 中国航空工业集团公司上海航空测控技术研究所 |
| 主分类号： | G01N27/409 | 分类号： | G01N27/409 |
| 代理公司： | 11008 中国航空专利中心 | 代理人： | 杜永保 |
| 地址： | 201601 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于传感技术领域，涉及一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件。该元件包括：两个过滤片(1)、三个电极环(2)以及两个氧化锆片(3)，其中，按照过滤片(1)、电极环(2)、氧化锆片(3)、电极环(2)、氧化锆片(3)、电极环(2)、过滤片(1)的顺序依次对中叠放，所述三个电极环(2)分别与与其接触的上下两个层形成三个空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 电极环 氧化锆片 过滤片 浓度传感元件 传感技术 氧化锆 叠放 空腔 | ||
【主权项】：
1.一种基于氧化锆的微型氧浓度传感元件，其特征在于，包括：两个过滤片(1)、三个电极环(2)以及两个氧化锆片(3)，其中，按照过滤片(1)、电极环(2)、氧化锆片(3)、电极环(2)、氧化锆片(3)、电极环(2)、过滤片(1)的顺序依次对中叠放，所述三个电极环(2)分别与与其接触的上下两个层形成三个空腔。/n
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