[发明专利]一种等离子体处理器及其加热器组件在审
| 申请号： | 201910899771.1 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN112542370A | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 江家玮;杨金全;徐朝阳 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;章丽娟 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种等离子体处理器及其加热器组件，等离子体处理器包含反应腔，反应腔内设置静电夹盘，静电夹盘下方设置基座，反应腔上部设有气体喷淋装置，加热器组件置于设定空间内，用于控制待加热部件的温度，加热器组件包含：基体，侧壁开设多层沟槽，任意两相邻层沟槽之间存在高度差；加热管，绕制在基体上的多层沟槽内，加热管沿基体的高度方向呈多圈分布，用以增加设定空间内的加热管的长度。本发明利用空余的空间，将加热器组件的整体高度提高，且加热管可在外层盘，也可内外侧同时盘加热管，利于增加加热管的长度，可减小加热管的功率密度，还可在此基础再提高加热功率，保证加热器的可靠性和寿命；加热器采用单端引线的形式，方便使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理器 及其 加热器 组件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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