[发明专利]基于DCNN的晶圆图故障模式识别方法及系统在审
| 申请号： | 201910900038.7 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110610214A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈寿宏;张雨璇;康怀强;易木兰;侯杏娜;马峻;郭玲 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | G06K9/62 | 分类号： | G06K9/62;G06K9/40;G06N3/04 |
| 代理公司： | 11429 北京中济纬天专利代理有限公司 | 代理人： | 石燕妮 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于DCNN的晶圆图故障模式识别方法及系统，对晶圆图进行转换处理，将彩色图转换为64×64的灰度图，并建立数据库，使用中值滤波方法对图像进行去噪并保护图像中的细节，增强所述灰度图的特征，然后随机提取所述数据库中的80％的数据以生成训练数据集，剩余的20％的数据作为测试数据集，将所述训练数据集通过输入层导入晶圆图故障模式识别系统中的DCNN模型，训练DCNN模型，使用训练的DCNN模型对所述测试数据集进行分类，使用混淆矩阵来显示结果，提高对晶圆图故障模式识别分类的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 故障模式识别 测试数据集 训练数据集 灰度图 矩阵 图像 建立数据库 随机提取 显示结果 中值滤波 转换处理 准确度 彩色图 输入层 分类 去噪 混淆 数据库 转换 | ||
【主权项】：
1.一种基于DCNN的晶圆图故障模式识别方法，其特征在于，包括：/n对晶圆图进行转换处理，得到64×64的灰度图，建立数据库；/n使用中值滤波法去除灰度图中孤立像素点；/n将去除孤立像素点后的数据库进行划分，并导入DCNN模型；/n训练所述DCNN模型，用训练的DCNN模型网络结构对测试集数据进行分类；/n以混淆矩阵的形式来显示分类结果。/n
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