[发明专利]磁控溅射工艺中直流电源的控制方法、控制装置及系统有效
| 申请号： | 201910906065.5 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN110643964B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 李良 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京思创毕升专利事务所 11218 | 代理人： | 孙向民;廉莉莉 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种磁控溅射工艺中直流电源的控制方法、控制装置及系统，其中控制方法包括：预先接收工控机下发的参数指令，参数指令包括：电源设定功率、定时启动功率、电源加载时间；在磁控溅射工艺的过程中，实时判断电源设定功率和定时启动功率是否满足预设条件；当电源设定功率和定时启动功率满足预设条件时，开始计时，同时控制直流电源输出电源设定功率；当计时时间达到电源加载时间后，关闭直流电源。本发明的有意效果在于，通过设置电源定时控制，可以精确控制直流电源的加载时间，从而确保镀膜膜厚的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 工艺 直流电源 控制 方法 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射工艺中直流电源的控制方法，其特征在于，包括：/n预先接收工控机下发的参数指令，所述参数指令包括：电源设定功率、定时启动功率、电源加载时间；/n在所述磁控溅射工艺的过程中，实时判断所述电源设定功率和定时启动功率是否满足预设条件；/n当所述电源设定功率和定时启动功率满足所述预设条件时，开始计时，同时控制所述直流电源输出所述电源设定功率；/n当计时时间达到所述电源加载时间后，关闭所述直流电源。/n
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