[发明专利]一种砷烷的合成提纯方法在审

专利信息
申请号: 201910909935.4 申请日: 2019-09-25
公开(公告)号: CN110642227A 公开(公告)日: 2020-01-03
发明(设计)人: 陈国富;龚施健 申请(专利权)人: 博纯材料股份有限公司
主分类号: C01B6/06 分类号: C01B6/06;F25D3/10;F28B9/10;B01D53/81;B01D53/40;B01D53/48;B01D53/26;B01D53/02
代理公司: 44214 广州市红荔专利代理有限公司 代理人: 李彦孚
地址: 362617 福*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供一种砷烷的合成提纯方法,使用锌粉与砷粉制备砷化锌,然后使用砷化锌粉末与稀硫酸发生反应,然后制得粗制砷烷气体,通过将粗制砷烷气体通过通入第一吸附装置,吸附装置中设有碱性多孔吸附剂,除去粗制砷烷气体中的酸性物质,再通入第二吸附装置,所述第二吸附装置中设有分子筛,除去砷烷气体中的高沸点杂质,最后使用液氮冷肼捕集砷烷气体,使砷烷气体冷凝为液态砷烷,使用真空泵抽去不凝气体,然后取下冷肼外的液氮罐,使砷烷挥发,得到纯净的砷烷气体;纯净的砷烷气体通入预先处理过的洁净钢瓶中进行保存,得到高纯度的砷烷气体成品。本发明提供的合成及提纯方法制备的砷烷成品,纯度可达6N,产品的杂质含量小于0.1ppm。
搜索关键词: 砷烷 吸附装置 粗制 砷化锌 提纯 冷肼 制备 合成 分子筛 多孔吸附剂 高沸点杂质 不凝气体 气体冷凝 气体通过 酸性物质 高纯度 稀硫酸 液氮罐 真空泵 捕集 钢瓶 挥发 取下 锌粉 液氮 洁净 保存
【主权项】:
1.一种砷烷的合成提纯方法,其特征在于:砷烷的合成提纯方法具体步骤如下:/n步骤一:称取锌粉与砷粉,将砷粉与锌粉,按照质量比3:4的比例进行混合,混合结束后将粉末放于石英器皿内,再置于不锈钢反应罐中,抽真空,再充入高纯惰性气体至常压,然后将压强维持在0.13~0.14MPa,加热3~4h,制得砷化锌,备用;/n步骤二:将步骤一中收集的砷化锌粉末至于反应器中,边搅拌边加入质量浓度为10-50%的稀硫酸反应生成粗制砷烷气体;/n步骤三:将步骤二中的粗制砷烷气体,通入第一吸附装置,所述吸附装置中设有碱性多孔吸附剂,得到砷烷气体A;/n步骤四:将步骤三中砷烷气体A通入第二吸附装置,所述第二吸附装置中设有分子筛,得到砷烷气体B;/n步骤五:使用液氮冷肼捕集步骤四中的砷烷气体B,使砷烷气体B冷凝为液态砷烷,使用真空泵抽去不凝气体,然后取下冷肼外的液氮罐,使砷烷挥发,得到纯净的砷烷气体;/n步骤六:将步骤五中纯净的砷烷气体通入预先处理过的洁净钢瓶中进行保存,得到成品。/n
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