[发明专利]推断装置以及阀控制装置有效
| 申请号： | 201910911072.4 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN111007885B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种推断装置以及阀控制装置，其推断真空阀的调压时所使用的实效排气速度。推断装置(5)包括：激振部(52)，使开度信号(θs)与激振信号重叠，开度信号(θs)用于驱动自动压力控制阀(1)的阀体(11)，激振信号用于对阀体(11)进行激振，所述自动压力控制阀(1)设置在对腔室(3)进行排气的真空泵(4)与腔室(3)之间；以及推断部(51)，根据激振时的腔室内压力的压力响应，推断与经由自动压力控制阀(1)而被排气的气体相关的实效排气速度(Se)。 | ||
| 搜索关键词： | 推断 装置 以及 控制 | ||
【主权项】：
暂无信息
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