[发明专利]干式初级真空泵和控制吹扫气体的喷射的方法

摘要

本发明涉及干式初级真空泵(1)，它包括：‑串联安装在真空泵的吸入口(3)和排出口(4)之间的至少两个泵送级(2a‑2e)；‑在泵送级中延伸的两个转子(5)，这些转子构造成沿相反方向同步旋转以在吸入口与排出口之间驱动待泵送的气体；‑构造成在至少一个泵送级中分配吹扫气体的喷射装置(9)，该喷射装置包括至少一个喷射构件(12a‑12e)、和旨在插置于吹扫气体供应源与至少一个喷射构件之间的至少一个具有开闭控制的喷射阀(13；16a‑16e)，其特征在于，该真空泵还包括控制装置(10)，该控制装置构造成控制至少一个喷射阀的打开和关闭以通过连续脉冲将吹扫气体喷射到至少一个泵送级中。本发明还涉及用于控制这种真空泵中的吹扫气体的喷射的方法。