[发明专利]一种导电性能增强的纳米氧化锌薄膜制备方法在审
| 申请号： | 201910911683.9 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110699640A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 张训龙;刘艺 | 申请（专利权）人： | 安徽省含山县锦华氧化锌厂 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C18/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 238100 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导电性能增强的纳米氧化锌薄膜制备方法，将溶胶‑凝胶法制备的掺杂有铝的氧化锌、溅射方法掺杂有银的氧化锌活化处理成掺杂纳米氧化锌。本发明的导电性能增强的纳米氧化锌薄膜制备方法制备的纳米氧化锌具有高电子浓度和较高的电子迁移率，掺杂有银的氧化锌采用溅射方法制备减少引入氧空位，同时空穴电导率高，非局域化程度高可将电阻率降至3.0*Ω*cm。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 掺杂 氧化锌 纳米氧化锌薄膜 纳米氧化锌 导电性能 溅射 空穴 电导率 电子迁移率 活化处理 电阻率 非局域 氧空位 凝胶 引入 | ||
【主权项】：
1.一种导电性能增强的纳米氧化锌薄膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1 利用脱水乙酸锌、氯化铝，通过溶胶 - 凝胶法制备掺杂有铝的氧化锌；/nS2 采用射频反应溅射方法将银元素掺杂至氧化锌中，溅射条件为：溅射前预真空为5-6*Pa,衬底为硅单晶，溅射靶直径为10mm、纯度大于99.99%的金属锌靶，溅射反应气体为氩气和氧气的混合气体；衬底与金属锌靶的间距为50mm，衬底温度为100-300℃；溅射功率为60-200W；溅射气压为1-3.8 Pa,溅射时间为1-2h；/nS3将溶胶-凝胶法制备的掺杂有铝的氧化锌、溅射方法掺杂有银的氧化锌与水混合配制成质量浓度为5 .8%的纳米氧化锌水悬浮液，超声分散4 ~ 6分钟，然后加入纳米氧化锌质量1 .8%的硫酸铝钾，添加到高速搅拌机中在3200r/min转速下搅拌 1小时，同时2 ~ 3分钟内滴加氢氧化钠溶液，然后转入衬有聚四氟乙烯的反应釜，置于均相反应器中于100 ~120℃ 进行反应，反应6 ~ 8h；反应结束后冷却至室温，离心分离、洗涤、烘干，最后得到纳米氧化锌。/n
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