[发明专利]用于化学机械研磨之固定环有效
| 申请号： | 201910913131.1 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112548846B | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 鲁荣硕 | 申请（专利权）人： | 夏泰鑫半导体（青岛）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 肖昀 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄岛区*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种以一研磨液研磨一晶圆时固定前述晶圆的固定环。前述固定环包含一环状主体以及复数导引件。前述环状主体具有一外表面、一内表面以及一用于容纳前述晶圆的内部空间。前述环状主体包含复数通道，使前述研磨液由前述外表面流入前述内部空间。前述复数导引件对应于前述复数通道，位于前述环状主体的外表面。每一前述导引件与前述环状主体形成一研磨液捕集区域。前述研磨液捕集区域将前述研磨液导入每一对应之前述通道中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 研磨 固定 | ||
【主权项】：
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