[发明专利]一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件有效
| 申请号： | 201910913154.2 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110715697B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 付新菊;张恒;吕泰增;关威;刘旭辉;汪旭东;龙军;李秀堂;石召新;杨灵芝;王平;蒋庆华;李恒建;王宇 | 申请（专利权）人： | 北京控制工程研究所 |
| 主分类号： | G01F1/692 | 分类号： | G01F1/692;G01F15/00;G01F15/14 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 胡健男 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，包括测量元件、陶瓷电连接器、流道组件。测量元件用于感受被测流体流量，将流量信号转化为变化的电阻阻值信号，进而转化为电压模拟量的变化；陶瓷电连接器用于承载测量元件，通过陶瓷材料上的导电薄膜将测量元件所测信号输出，同时与流道组件配合，起到承压与密封作用；流道组件承载被测流体，形成层流换热通道，同时跟陶瓷电连接器配合。本发明结构简单、可靠性高、尺寸小、重量轻，适合于微克级气体的高精度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 密封 结构 适用于 微克 流量 测量 组件 | ||
【主权项】：
1.一种带有密封结构的适用于微克级流量的流量测量组件，其特征在于包括：测量元件(1)、陶瓷电连接器(2)、流道组件(3)；/n流道组件(3)，包括外壳体和流体通道；/n测量元件(1)用于感受被测流体流量，形成流量信号，将流量信号转换为电压模拟量，通过陶瓷电连接器(2)输出；陶瓷电连接器(2)用于承载测量元件(1)；/n流道组件(3)的外壳体上设有环形跑道形状的凹槽，凹槽底部与流体通道连通；测量元件(1)通过与陶瓷电连接器(2)连接后形成测量单元；测量单元中测量元件(1)面向流道组件(3)中的流体通道，并伸入到流体通道中，测量单元和流道组件(3)外壳体通过电子束焊接方式进行密封。/n
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