[发明专利]阻抗匹配结构的半导体芯片测试同轴插座及其制备方法有效
| 申请号： | 201910914677.9 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110726918B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 施元军;殷岚勇;高宗英;刘凯;杨宗茂 | 申请（专利权）人： | 苏州韬盛电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 北京化育知识产权代理有限公司 11833 | 代理人： | 闫露露 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种阻抗匹配结构的半导体芯片测试同轴插座及其制备方法，同轴插座包括测试插座定位基板、测试插座母体、测试插座盖板和测试探针，所述测试插座母体和测试插座盖板内分别固定安装聚合物一和聚合物二，所述聚合物一和聚合物二内分别设置探针卡槽一和探针卡槽二，该探针卡槽一和探针卡槽二内穿设测试探针。本发明利用导电金属做测试插座母体、测试插座盖板，并和探针之间做好50欧姆单端或者100欧姆差分的阻抗匹配，来达到优异的信号传输和热量的传导，导电金属测试插座做接地的屏障结构，有效屏蔽通道和通道之间的串扰，同时可以将测试产生的热量快速传导出去。 | ||
| 搜索关键词： | 阻抗匹配 结构 半导体 芯片 测试 同轴 插座 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阻抗匹配结构的半导体芯片测试同轴插座，其特征在于，包括测试插座定位基板、测试插座母体、测试插座盖板和测试探针，所述测试插座定位基板、测试插座母体和测试插座盖板由上到下依次顺序设置，所述测试插座母体和测试插座盖板内分别设置聚合物卡槽一和聚合物卡槽二，所述聚合物卡槽一和聚合物卡槽二内固定安装聚合物一和聚合物二，所述聚合物一和聚合物二内分别设置探针卡槽一和探针卡槽二，该探针卡槽一和探针卡槽二内穿设测试探针，所述测试插座母体、测试插座盖板的材质为金属。/n
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