[发明专利]一种提高真空镀膜收得率的真空镀膜装置在审
| 申请号： | 201910915434.7 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN112553577A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 任三兵;樊俊飞;李山青;熊斐;汪义如 | 申请（专利权）人： | 宝山钢铁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/16 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 周成 |
| 地址： | 201900 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高真空镀膜收得率的真空镀膜装置，所述真空镀膜装置位于钢板的下方，包括坩埚，其外侧设有感应加热器，所述坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，所述蒸汽管道上设有调压阀，所述布流箱体内设有一水平向的稳压板，所述布流箱体顶部连有喷嘴，所述喷嘴顶部的两侧窄面上布置有导流板；所述喷嘴出口至所述钢板的距离Da为10～200mm；所述导流板的高度Db为10～199mm；所述导流板顶部至所述钢板的距离Dc为1～190mm；所述导流板与所述喷嘴出口之间的夹角Dd为60°～135°。本发明提高镀膜过程中的收得率，并形成均匀一致的镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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