[发明专利]基板处理装置在审

专利信息
申请号: 201910915822.5 申请日: 2019-09-26
公开(公告)号: CN110957242A 公开(公告)日: 2020-04-03
发明(设计)人: 森川胜洋;饱本正巳;守田聪;水永耕市 申请(专利权)人: 东京毅力科创株式会社
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;张会华
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供一种基板处理装置。相对于基板周围的腐蚀性的环境来保护用于向加热器的供电和加热器的控制的电气部件。基板处理装置具备:旋转驱动机构,其使保持着基板的旋转台绕旋转轴线旋转;处理液喷嘴,其向保持于旋转台的基板的上表面供给处理液;电加热器,其设置于顶板,隔着顶板对基板进行加热;电气部件,其设置于顶板的下表面侧,接收或发送用于向电加热器的供电和电加热器的控制的信号;以及周缘罩体,其与顶板的周缘部连接,与顶板一起旋转。在顶板的下方形成有收纳电气部件的收纳空间,收纳空间被包括顶板和周缘罩体的包围构造物包围,顶板的周缘部与周缘罩体之间被密封。
搜索关键词: 处理 装置
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社,未经东京毅力科创株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910915822.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code