[发明专利]一种双向ESD保护器件及电子装置有效
| 申请号： | 201910916709.9 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN112563260B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 梁旦业;汪广羊 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/02 | 分类号： | H01L27/02;H01L29/06 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 张建 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双向ESD保护器件及电子装置，该双向ESD保护器件包括：形成在半导体衬底中的第一阱区、第二阱区和第三阱区；在第一阱区和第二阱区的每一个中形成的至少两个第一注入区和至少两个第二注入区，至少两个第一注入区沿第一阱区/第二阱区的长度方向排列且间隔布置，至少两个第二注入区沿第一阱区/第二阱区的长度方向排列且间隔布置，第一注入区和第二注入区位于不同的直线上且彼此错开一定距离；形成在第一阱区和第三阱区的交界处以及第二阱区和第三阱区的交界处的第三注入区。该ESD保护器件可以在具有相对较高维持电压的同时，ESD鲁棒性对比之前的结构大大提高。该电子装置具有类似的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双向 esd 保护 器件 电子 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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