[发明专利]一种原位在线反射光学测量系统及方法在审
| 申请号： | 201910919383.5 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110726682A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 张雷;王译那;姜明顺;张法业;隋青美;贾磊 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01N21/27 | 分类号： | G01N21/27;C23C16/52 |
| 代理公司： | 37221 济南圣达知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董雪 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原位在线反射光学测量系统及方法，包括：用于提供材料生长环境的材料生长模块和用于实现材料生长原位监测的光学检测模块；所述材料生长模块包括材料生长部，所述材料生长部上设有用于提供入射光和出射光进出路径的窗口；所述光学检测模块包括光源，所述光源发出的光经过传递自所述的窗口入射到样品上，经反射后，出射光自所述窗口射出并被光谱仪收集。本发明实现了CVD生长设备与光学检测设备的联用，达到了原位、在线、实时、非接触的检测效果；生长设备采用通用的CVD生长设备，对原材料、衬底以及样品没有特殊要求，普适性高，适应性强。 | ||
| 搜索关键词： | 材料生长 光学检测模块 出射光 光源 光学测量系统 光学检测设备 生长设备 原位监测 在线反射 光谱仪 非接触 普适性 入射光 通用的 衬底 联用 入射 射出 反射 传递 检测 | ||
【主权项】：
1.一种原位在线反射光学测量系统，其特征在于，包括：用于提供材料生长环境的材料生长模块和用于实现材料生长原位监测的光学检测模块；/n所述材料生长模块包括材料生长部，所述材料生长部上设有用于提供入射光和出射光进出路径的窗口；/n所述光学检测模块包括光源，所述光源发出的光经过传递自所述的窗口入射到样品上，经反射后，出射光自所述窗口射出并被光谱仪收集。/n
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