[发明专利]一种环保型直接在易氧化金属镀膜的工艺在审
| 申请号： | 201910921053.X | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110565061A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 曾浩恩;谭天明 | 申请（专利权）人： | 宁波丽成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/16;C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种环保型直接在易氧化金属镀膜的工艺，分为以下几个步骤：1）工件脱脂清洁；2）固定与镀件夹具；3）抽真空；4）偏压等离子体清洁；5）离子源等离子清洁；6）TFMG植入层；7）TFMG保护层；8）装饰性或功能性目标涂层；通过金属玻璃具有致密、疏水性佳，耐蚀性佳的特性，可以作为保护基材的保护涂层。 | ||
| 搜索关键词： | 致密 偏压等离子体 等离子清洁 易氧化金属 装饰性 镀件夹具 金属玻璃 目标涂层 清洁 脱脂 保护层 抽真空 环保型 离子源 耐蚀性 疏水性 植入层 镀膜 | ||
【主权项】：
1.一种环保型直接在易氧化金属镀膜的工艺，其特征在于，包括一下步骤：/n工件脱脂清洁；/n固定与镀件夹具；/n抽真空；/n偏压等离子体清洁；/n离子源等离子清洁；/nTFMG植入层；/nTFMG保护层；/n装饰性或功能性目标涂层。/n
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