[发明专利]薄膜晶体管阵列基板和包含其的数字X射线检测器

摘要

本申请涉及薄膜晶体管阵列基板和包含其的数字X射线检测器，其中公开了一种用于高分辨率数字X射线检测器的薄膜晶体管阵列基板和包含该薄膜晶体管阵列基板的高分辨率数字X射线检测器，其中通过增加填充因数来改善光敏性，使PIN二极管之间的干扰最小化，并且改善PIN二极管的阶梯覆盖以提高PIN二极管的稳定性。出于这些目的，使PIN二极管的面积最大化，并且在PIN层内设置PIN二极管的像素电极。此外，由无机材料制成的包覆层形成在像素电极的边缘区域和/或接触孔区域中。因此，可以最小化由于在弯曲区域上集中电场而导致的漏电流。