[发明专利]一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法在审
| 申请号： | 201910922836.X | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110635022A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 谷志强;吴志浩;吴愧;蒋中原;车东晨;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24 |
| 代理公司： | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 唐循文 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法，属于超导器件制备技术领域。具体方法如下：在真空状态下将待刻蚀样品通过传送装置送至反应离子刻蚀腔，通入刻蚀气体，对待刻蚀样品Nb层进行刻蚀；然后在真空状态下通过传送装置将反应离子刻蚀后的样品送入离子束刻蚀机，通入惰性气体，刻蚀AlO | ||
| 搜索关键词： | 刻蚀 超导器件 反应离子刻蚀 传送装置 刻蚀样品 真空状态 离子束刻蚀机 制备技术领域 约瑟夫森结 惰性气体 金属沉积 刻蚀气体 有机物 产能 良率 铌基 送入 | ||
【主权项】：
1.一种铌基约瑟夫森结刻蚀方法，所述铌基约瑟夫森结从上到下依次包括掩膜材料、Nb层、AlO
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