[发明专利]一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法在审
| 申请号： | 201910922844.4 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110646473A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 王丽娟;孙强;朱阳阳;谢强;王璐 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;H01L51/05 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130012 吉林*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法。传感器为OFET器件结构，包括硅衬底（1），二氧化硅绝缘层（2），PVP/TiO | ||
| 搜索关键词： | 气体敏感层 绝缘层 叉指电极 降低器件 纳米粒子 传感器 蒸镀 修饰 二氧化硅绝缘层 无机纳米粒子 真空蒸镀技术 传感器制备 聚合物混合 绝缘层气体 气体传感器 工作电压 介电常数 响应能力 制备工艺 复合材料 聚合物 硅衬底 灵敏度 相容性 改性 功耗 旋涂 制备 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种无机纳米粒子修饰PVP绝缘层气体传感器制备方法，其特征在于：器件结构包括硅衬底（1），二氧化硅绝缘层（2），PVP/TiO
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