[发明专利]三轴电容式微加速度计在审
| 申请号： | 201910923117.X | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110531116A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 唐彬;张照云;谢国芬;刘显学;熊壮;许蔚;苏伟;彭勃;杜连明 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种三轴电容式微加速度计，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在平面检测层与离面检测层之间的基底层以及设置在离面检测层底部的衬底层；平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计；其中，第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计分别包括质量块、可动电极、固定电极、支撑梁、锚点区，质量块通过支撑梁悬空位于所述基底层顶部；摆式微加速度计包括中间极板、上极板及下极板，中间极板设置在上极板与下极板之间，上极板位于基底层，下极板位于衬底层。该三轴电容式微加速度计成在同一个芯片上，免除装配过程，具有稳定性高，体积小，制备成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度计 梳齿 电容式微加速度计 平面检测 基底层 面检测 上极板 下极板 三轴 中间极板 衬底层 支撑梁 质量块 固定电极 可动电极 装配过程 体积小 锚点 制备 悬空 芯片 | ||
【主权项】：
1.一种三轴电容式微加速度计，其特征在于，该三轴电容式微加速度计包括：平面检测层、离面检测层、设置在所述平面检测层与所述离面检测层之间的基底层以及设置在所述离面检测层底部的衬底层；/n其中，所述平面检测层包括在一个平面内呈正交分布的第一梳齿式微加速度计及第二梳齿式微加速度计；/n其中，所述第一梳齿式微加速度计及所述第二梳齿式微加速度计分别包括质量块、可动电极、固定电极、支撑梁、锚点区，所述质量块通过四根所述支撑梁悬空位于所述基底层顶部，所述可动电极一端连接于所述质量块，所述固定电极一端连接于所述锚点区，支撑梁一端连接于所述质量块，另一端连接锚点区，所述锚点区连接于所述基底层；/n其中，所述摆式微加速度计包括中间极板、上极板及下极板，所述中间极板设置在所述上极板与所述下极板之间，所述上极板位于所述基底层，所述下极板位于所述衬底层。/n
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