[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201910925071.5 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN110957359A | 公开(公告)日: | 2020-04-03 |
发明(设计)人: | 徐继兴;杨世海;张志宇;蔡庆威;程冠伦 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/423 | 分类号: | H01L29/423;H01L29/78 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李琛;黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 一种负电容半导体装置,包括基板。介电层设置在基板的一部分上方。铁电结构设置在介电层上。在铁电结构内,铁电结构的材料组成随铁电结构内的高度而变化。栅极电极设置在铁电结构上方。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
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