[发明专利]光电薄膜器件的特性检测方法在审
| 申请号： | 201910926303.9 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110531120A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 肖金伟;黄晶;宋晓雪;殷尧;唐建新 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/30 | 分类号： | G01Q60/30 |
| 代理公司： | 11463 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 谢玲<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种光电薄膜器件的特性检测方法，在对待测光电薄膜器件进行制样处理，得到切片样品的基础上，配置导电探针，以及与导电探针连接的开尔文探针力显微镜。利用开尔文探针力显微镜通过导电探针采集切片样品的参数分布数据信息。利用该特性检测方法，可得到数值化的参数分布数据信息，实现更为细微化的检测，提高检测的全面性，为后续待测光电薄膜器件的失效判断提供数据依据。 | ||
| 搜索关键词： | 光电薄膜器件 导电探针 分布数据信息 开尔文探针 力显微镜 切片样品 特性检测 数据依据 全面性 数值化 细微化 检测 制样 采集 配置 申请 | ||
【主权项】：
1.一种光电薄膜器件的特性检测方法，其特征在于，所述方法包括：/n对待测光电薄膜器件进行制样处理，得到切片样品；/n配置导电探针，以及与所述导电探针连接的开尔文探针力显微镜；/n利用所述开尔文探针力显微镜通过所述导电探针采集所述切片样品的参数分布数据信息。/n
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