[发明专利]一种直接氟化协同等离子体对材料表面进行改性的装置有效
| 申请号： | 201910927704.6 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110718438B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 赵妮;常正实 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学;西安交通大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B01J19/08;B01J15/00 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 杨洲 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直接氟化协同等离子体对材料表面进行改性的装置，包括装置主体，装置主体内设有封闭廊道，封闭廊道的上游设置有等离子体活化单元，封闭廊道的下游设置有直接氟化单元，直接氟化单元和等离子体活化单元之间通过自适应开启式隔离软帘密封连接。本发明装置通过将直接氟化和等离子体处理相结合，根据表面功能化要求合理匹配放电等离子体和表面直接氟化，大幅度降低了氟气的使用量和使用条件，提高了等离子体表面改性效果的时效性和稳定性，改善“疏水性恢复现象”。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直接 氟化 协同 等离子体 材料 表面 进行 改性 装置 | ||
【主权项】：
1.一种直接氟化协同等离子体对材料表面进行改性的装置，其特征在于，包括装置主体，所述装置主体内设有封闭廊道，所述封闭廊道的上游设置有等离子体活化单元，所述封闭廊道的下游设置有直接氟化单元，所述等离子体活化单元和所述直接氟化单元之间密封连接。/n
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