[发明专利]一种多层膜的制备方法及多层膜有效
| 申请号： | 201910931338.1 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112578480B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 姚舜;刘铭恩;李春;邓文渊;金春水 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G02B1/115 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多层膜的制备方法，通过将目标多层膜的材料厚度比例代入厚度应力关系式，得到所述目标多层膜在沉积温度时的沉积应力；将与所述目标多层膜的材料厚度比例相同的第一样品在第一温度下退火，并测量退火后的所述第一样品的应力；进行线性拟合得到温度应力关系式；其中，所述应力变化量为所述第一样品的应力与所述目标多层膜在沉积温度时的沉积应力的差值；通过所述温度应力关系式得到所述目标多层膜对应的目标退火温度；依据所述目标多层膜的材料厚度比例沉积多层膜，并在所述目标退火温度下对所述多层膜进行退火，得到所述目标多层膜。本申请减轻了计算量，操作简单，降低了生产成本。本申请还提供了一种具有上述有益效果的多层膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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