[发明专利]声波谐振器在审
申请号: | 201910931599.3 | 申请日: | 2019-09-29 |
公开(公告)号: | CN111211756A | 公开(公告)日: | 2020-05-29 |
发明(设计)人: | 金泰润;李泰京;尹湘基;李成俊;林昶贤;李男贞;李泰勳;李文喆 | 申请(专利权)人: | 三星电机株式会社 |
主分类号: | H03H9/17 | 分类号: | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 李李;钱海洋 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:基板;绝缘层,设置在所述基板上;谐振部,设置在所述绝缘层上并且包括堆叠在所述绝缘层上的第一电极、压电层和第二电极;腔,设置在所述绝缘层和所述谐振部之间;突起部,包括设置在所述腔的下表面上的多个突起;以及疏水层,设置在所述腔的上表面和所述突起部的表面上。 | ||
搜索关键词: | 声波 谐振器 | ||
【主权项】:
暂无信息
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